ASML｜微信 H5:追光实验室

作为半导体工业皇冠上的明珠，光刻机代表着人类文明的智慧结晶。ASML 三十多年里在瑞利判据的指引下想要不断突破的，就是对光的理解和“驾驭”。

ASML 通过多年来坚持不懈的科学探索精神、活跃灵动的创造力以及不断革新光刻技术，实现了许多里程碑式的突破，将更精密的光刻设备带进现实。

尖端的光刻技术不仅是人类构筑现代文明的关键，运用现代技术与古老艺术之间搭建沟通之桥，也是 ASML 一直坚持的使命。二者融合交汇产生的魔法反应让人神往。

为了让更多人深入了解光刻机，我们根据ASML 需求专门打造了一座“追光实验室”等你来体验。

01创意亮点

在这个特殊的实验室里面，用户不仅可以沉浸式地了解光刻机内部的工作原理，还有丰富的 AR 互动深入了解光刻机的内部及其背后的技术原理，体验不断探索极限的科技魅力。

还可以进入 ASML 光刻机的内部，探索光源走过的每一个步骤，领略 ASML 是如何挑战瑞利判据，和摩尔定律赛跑，实现更小的线宽，在纳米世界里做极限的攀登者。

02用户体验

03空间体验

在空间1中，用户通过手机摄像头识别AR互动展示台，可以360度地感受光刻机的核心模块并听讲其运作原理

ASML在推进摩尔定律的征程上，浸润式光刻绝对是一项具有里程碑意义的技术。当传统的干式光刻机日趋极限，分辨率缩小成为业内担忧的发展瓶颈。ASML成功地推出了浸润式光刻机，用折射率大于1的水作为媒介，实现物镜数值孔径的增大，帮助最小分辨率得到提升，开辟了半导体行业技术的新世界。

在空间2中，可以让用户更加直观地了解这一划时代技术的魅力

尖端的光刻技术不仅是人类构筑现代文明的关键，运用现代技术与古老艺术之间搭建沟通之桥，也是 ASML 一直坚持的使命。二者融合交汇产生的魔法反应让人神往。

为了保护梵高的作品，ASML特制了便携式测量系统，让文物保护人员可以更加方便和精确地监测温度、湿度、光照、空气成分以及震动等会导致画作变化的关键环境因素。而这也正是ASML对于技术一以贯之的理念——把速度和精度做到极致。

在空间4中，可以了解 ASML 和梵高之间的渊源。

04互动小游戏

将ASML推上光刻机领先地位的另一大技术，非双晶圆工作平台莫属。晶圆在进入光刻流程前是要先进行测量和对准的。此前的光刻机只有一个工作台，测量、对准、光刻等所有流程都在这一个工作台上完成。相应的整个流程的速度就受到了限制。

ASML 推出的双工作台系统（TWINSCAN system），在一个工作台在给晶圆进行曝光的同时，另一工作台可对下一片需曝光的晶圆进行测量，实现测量和曝光的无缝衔接，极大地提高了生产效率。

在这里，我们准备了两个互动小游戏，让用户与TWINSCAN来场比试，极大地增强了小程序的趣味性，同时也能让用户更直观的体验到TWINSCAN究竟有多快，要多准！

第一个游戏考验速度，用手指在屏幕上沿白色虚线从左至右快速画完

第二个游戏考验准确度，用手控制右边方位仪，调整波浪线位置，使线条通过红点