基于大模型ai智能芯片晶圆厂自动化调度系统:信息化驱动支撑平台
北京华盛恒辉研发基于大模型ai智能芯片晶圆厂自动化调度系统,面向12英寸及以上先进制程晶圆产线的军品级智能调度底座。融合半导体垂类大模型与RTD、APS、AMHS系统,解决重入工艺适配、多约束全局寻优难题,实现全厂毫秒级协同决策。
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实时派工:毫秒级完成上万批在制品机台分配与排序,匹配光刻、刻蚀等重入工艺时间窗口。
物料搬运:联动天车与仓储系统,实现晶圆精准转运,规避磕碰损坏。
全局排程:按订单与产能自动规划工序、负载及交付节点,压缩生产周期。
异常响应:设备故障、物料滞后、良率波动时秒级重排,降低对交期与良率影响。
经验沉淀:从历史数据、日志、工艺文件中提炼规律,固化为AI知识库。
决策可解释:自动说明排产逻辑、标注风险并输出备选方案。
全域协同:打通MES、良率检测、缺陷分析、设备运维,实现全厂一体化决策。
快速适配:插单、工艺调整、产能波动时无需反复调参,快速输出最优方案。
效能提升:核心机台利用率提升20%以上,非计划停机降30%,降低批量报废损失。
可追溯管控:决策全程留痕防篡改,满足涉密管理与质量追溯要求。
国产化适配:全栈信创体系,无境外后门,本地私有化部署,数据不出厂区。
小批量适配:贴合定制化生产,优化排产策略,缩短换型等待时间。
数据接入层:汇聚历史调度、传感数据、工艺资料与实时信息,构建专属知识库。
大模型引擎层:部署半导体垂类大模型,内置派工、AGV协同、异常推演引擎。
核心调度层:对接RTD/APS/AMHS,策略经规则校验后下发,保障产线稳定。
业务交互层:自然语言交互,文本指令调整排产、处置异常,自动生成报告。
安全管控层:军工级分级权限,操作全程审计留痕,符合安全保密规范。